電感耦合等離子體發射光譜儀是一種高性能的光譜儀器，是以電感耦合等離子體作為激發光源，根據處于激發態的待測元素原子回到基態時發射的特征譜線對待測元素進行分析的儀器。其原理是利用高頻感應線圈將氬氣等離子體激發產生高溫、高能量的等離子體，使樣品中的元素原子被激發并發射特征光譜線，通過檢測和分析這些光譜線來確定樣品中元素的含量。
1、進樣系統：
進樣系統是ICP儀器中極為重要的部分，按試樣狀態不同可以分別有液體、氣體或固體直接進樣。
液體進樣裝置：包括氣動霧化器、超聲波霧化器、高壓霧化器、微量霧化器、循環霧化器、耐氫氟酸霧化器等。
固體進樣裝置：常用的裝置有電火花燒蝕進樣器、激光燒蝕進樣器、電熱進樣器、插入式石墨杯進樣器。
氣體進樣裝置：如氫化物發生器、專用氣體進樣器。
2、激發源：
激發源的作用是提供試樣蒸發、原子化、激發所需的能量。
等離子體激發光源主要由射頻發生器、耦合線圈、等離子體矩管和供氣系統等幾部分構成。射頻發生器主要有自激式和它激式兩種。
3、分光系統：
分光系統的作用是將由不同波長輻射復合而成的光按照波長依次展開獲得光譜。
常見的分光系統主要由棱鏡、光柵。
4、檢測器：
檢測器用于光電轉換的電子裝置，由光電轉換器件將光強度轉換成電信號，在積分放大后，通過輸出裝置給出定性或定量分析結果。
目前常用的有真空光電檢測器（光電倍增管，PMT）和固態光電檢測器兩類，其中固態檢測器分電感耦合型檢測器CCD、電荷注入型檢測器CID或互補金屬氧化物半導體類型檢測器CMOS等。
5、控制與數據管理系統：
控制與數據處理系統由計算機和相應軟件組成，實現對儀器的操作、各種參數調節和控制、測定及數據處理等。
